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題名:二維自由度DVD雷射量測PZT微動定位系統之研製    
DEVELOPMENT OF A 2-DOF DVD LASER PROBING PZT MICRO POSITIONING SYSTEM
著者:童景賢(Jing-Syan Torng) ;黃元瑞(Yuan-Ruey Huang) ;戴仲賢(J. S. Dai)
出版地區:台灣
出版城市:桃園縣
學科:社科綜合 ; 電機資訊 ; 工程技術
關鍵字:雷射讀取頭 ; PID控制 ; 微動平台 ; DVD ; Laser pickup head ; PID control ; Micro-stage
刊名:南亞學報
卷期:31期(2011.12)
頁碼:161-174
語言:繁體中文
摘要: 中文摘要PDF ; 英文摘要PDF

隨著科技的日新月異,已經從微米時代走入了奈米時代,而在奈米科技領域中,有許多的應用都需要高精度的微定位平台為載具。對微定位平台的研究,一般都以壓電陶瓷來驅動平台以移動工件,此類平台僅提供幾十微米以下的短行程微動位移,而對微奈米長行程的研究,則須要較長行程的定位平台來移動試件,一般需要幾公分的位移及10奈米左右的精度。
近年來在長行程奈米定位平台的研究以一維居多,且以長行程的粗位移加上微動位移的兩段式定位為主,而位移量幾乎都以雷射干涉儀進行回授控制。但因雷射干涉儀價格昂貴,使得線上檢測極為耗費成本且部分平台結構及傳動元件取自工業成品,使得誤差源無法避免,故定位準確度或精密度約只能達到1 μm至0.1 μm。
本計劃所研製之『二維自由度DVD雷射量測PZT微動定位系統』是使用市面上售價低於兩千元台幣之DVD player,並利用其雷射光學讀寫頭製作兩套DVD雷射探頭,以取代售價昂貴之雷射干涉儀,並用來測量定位系統上XY兩軸之位移量。此兩套自行研製DVD雷射探頭的成本約只有一套市面上雷射干涉儀售價的二百分之一,而其精度可達到±100奈米,如此將可大為降低購置成本,以使產業界之相關應用更為普及。
The rapid growing of nano-technology in the industry has lead the micro-motion stages being widely used in various applications, such as semiconductor industry, biomedical industry and micro/nano inspection. Normally, micro stages use PZTs as the actuators to move and it normally offers the displacement of tens of micrometer. For long displacement micro-motion, the resolution requirement of few centimeters displacement is about 10 nanometers.
The research on long displacement nano-technology is normally focused on one-degree-of-freedom displacement with two-step method that combines the coarse distance adjustment and the fine displacement. As for measuring the displacement, Laser Interferometer (LI) is regarded as the feedback sensor for probing the micro stage position. However, the cost of LI is nevertheless too high.
This project has established a two-degree-of-freedom DVD laser probing PZT micro positioning system which applied the optical pickup head of a commercialized DVD player which costs only less than NT$2000. The two sets of home made DVD laser probe are able to substitute the costly LIs to measure the displacement of X-Y positioning stage and the accuracy can reach ±100nm with only 0.05% of Laser Interferometer's cost. With the cost down, it has more advantage of applying laser probe on micro stage.


    

本卷期目次
南亞學報 31期 (2011.12)
SYNTHESIS OF SOME NOVEL SUBSTITUTED 4-ARYL-3-CYANO-2-AMINO-THIOPHENE DERIVATIVES/ Yuh-Wen HoSe-Long Chou
鐵磁性流體潤滑之矩形平板溫度效應分析/ 周祖亮馮騰榔江新祿
表面粗糙度對拋物線滑動軸承性能影響之研究/ 梁龍驥周祖亮林昭仁
UHMWPE/Nomex包覆紗製備及物性分析/ 周文立許耀基
動態系統之柴比雪夫遞迴式小波類神經模糊網路判別模型/ 黃元瑞童景賢
應用Pam-Stamp於鋁合金成型之回彈分析/ 張志毅林義凱何明雄沈炳臣
二維自由度DVD雷射量測PZT微動定位系統之研製/ 童景賢黃元瑞戴仲賢
外部氣體輔助射出成型對補強肋成品表面品質之研究/ 陳夏宗蘇建嘉林明俊
廢氣成分與汽油噴射引擎控制系統關係之研究/ 林明俊葉榮鵬胡書庭
消費者對建商品牌之認知與其購屋行為關係之探討/ 柴希文簡臆灣
膠結漿料組成對混凝土性質影響之研究/ 謝素蘭
直接分析設計法應用於廠房鋼構架建築之研究/ 華根
HOW CAN WE MAINTAIN LEARNERS' LS MOTIVATION IN A CLASSROOM SETTING?/ Peter M. Kheradmandan
AN INVESTIGATION INTO THE INFLUENCE OF LEXICAL ASPECT ON EFL LEARNERS' USE OF TEMPORAL MORPHOLOGY/ Hui-Hsien LeePin-Ju Wang
西醫診所服務品質提昇之研究/ 黃麗卿李復恩
以超音波加工對抗彈陶瓷材料切削條件孔品質之研究/ 王士榮廖文賢
中、日、韓三國外匯市場之共同波動、聯合干預及溢出效果/ 王春源王昭偉
匯率落後性過度調整與PPP在中國大陸的驗證/ 王春源王昭偉
Kalman-Filter方法估計匯率泡沫現象/ 王昭偉王春源
公營事業民營化進程服務品質差異之研究-以中壢地區郵局為例/ 廖文正何碧蘭
信用分配:一個簡單模型的說明/ 陳啟益張文檀
資訊意涵與股票報酬之關連性研究-以台股上市塑膠業為例/ 陳天志蔡孟易
影響學前幼充閱讀與書寫能力因素分析/ 鄧運林
父母不同教養態度與幼兒社會行為之研究/ 吳偲嫄鄧運林
EFFECTS OF PRESSURE-DEPENDENT VISCOSITY ON THE SQUEEZE FILM CHARACTERISTICS OF COSINE-FORM CONVEX CURVED PLATES/ Jaw-Ren LinRong-Fang LuChia-Chuan Kuo
「養生」-明代文人的休閒生活/ 蕭慧媛
自行車道遊客滿意度與重遊意願之研究-以龍潭三坑自行車道為例/ 謝雯玲孔仁華謝雯萍
多突出摺紙技法在摺紙藝術創新設計應用之探討/ 林世洪
桃園縣國中教師提前退休之社會壓力因素質性探究/ 呂文欽簡玉敏
臺灣民間傳說與文化經營之互動及影響/ 陳佳穗李坤金
國共內戰美國的介入及其對華政策/ 唐明輝
清代女性文學批評者論情-以牡丹亭、紅樓夢的評語為主/ 鐘雪寧
CHAOS IN THE NEWTON-LEIPNIK SYSTEM WITH FRACTIONAL ORDER/ Kuang-Tai LinChau-Hwang Chu
從閩南俗諺談婚姻的重要與目的/ 劉裕元
在職進修學生休閒活動現況與阻礙因素之研究/ 陳智仁陳文雄許天路
不同週數的教學進度對學習排球低手傳球技術之保留效果探討/ 董金龍許天路
PIEZO-VISCOUS EFFECTS ON THE LOAD CAPACITY AND RESPONSE TIME OF EXPONENTIAL CURVED CIRCULAR DISKS/ Jaw-Ren LinChia-Chuan KuoRean-Dea ChienWun-Jie Li
透天厝火災火場特性數值模擬/ 林誠興陳德啟周國達黃志平
SOLUTION OF LAPLACE'S EQUATION BY MEANS OF FRACTIONAL CALCULUS/ Pin-Yu Wang
 
   
 
   

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