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題名:類神經網路於MIMO半導體製程控制的應用     (22點)
Neural-Network-Based Process Control for the MIMO Semiconductor Manufacturing Process
著者:呂明山(Ming-Shan Lu) ;張仁達(Len-Ta Chang)
出版地區:台灣
出版城市:彰化縣
學科:自科綜合 ; 應科綜合
關鍵字:類神經網路 ; 預測 ; 干擾 ; 製程控制 ; neural network ; prediction ; disturbance ; process control
刊名:科學與工程技術期刊
卷期:3卷4期(2007.12)
頁碼:57-67
語言:繁體中文
摘要: 中文摘要PDF ; 英文摘要PDF

在製程上常存在許多干擾,這些干擾會造成製程輸出飄移或是偏移,本研究提出利用倒傳遞類神經網路針對多重輸入及多重輸出製程,建構製程的預測及控制模式來補償干擾造成的誤差。首先,倒傳遞類神經網路預測器經由學習製程的輸出模式,預測製程的干擾輸出,接著,倒傳遞類神經網路控制器經由學習製程的調控模式,依據目標值與干擾輸出的誤差計算製程的參數調整量,來補償干擾所產生的誤差。?了驗證倒傳遞類神經網路預測器的預測績效,預測結果將與Box-Jenkins預測模式作比較。最後,利用半導體化學機械研磨製程?模擬驗證的對象,驗證倒傳遞類神經網路預測及控制器之可行性。研究結果顯示倒傳類神經網路預測及控制器能有效控制干擾輸出,降低製程干擾所產生的變動。
In the manufacturing process many disturbances exist which usually cause the process output to draft or shift from the design output. In this research an on-line process prediction and control for multiple-input and multiple-output (MIMO) systems, based on back-propagation neural networks, is developed. A neural network predictor is designed to estimate the disturbed process outputs, and a neural network controller is used to adjust the input parameters to reduce errors between the design outputs and the estimated outputs. Moreover, a comparison of estimated performance between the proposed neural network predictor and a Box-Jenkins predictor is also given. A simulation study based on the chemical mechanical polishing process is used to verify the proposed controller. The simulation results show that the proposed neural network controller can effectively reduce the variance of output.


    

本卷期目次
科學與工程技術期刊 3卷4期 (2007.12)
超音波定位系統之設計策略/ 盧樹台
類神經網路於MIMO半導體製程控制的應用/ 呂明山張仁達
以HAVi多媒體網路整合於OSGi家用閘道器之設計與實作/ 彭興國張晉源薛念林
中文文件影像中之特殊字體偵測/ 曾逸鴻林裕淵
Optimal Load Tracking Design for a Catalytic-Partial-Oxidation-Based Fuel Processing System/ Huan-Liang Tsai
發光二極體接面溫度的自動量測系統/ 廖豐標杜振德林睿蜻林雲翔劉秉承黃文祥
“陳有蘭溪十八重溪匯流處下游”疏濬工程粒狀污染物排放係數推估/ 李清華施俊安方信雄林明德林隆儒秦丘翰
射出模模座設計管理的原型系統建構/ 劉大銘蕭立奇徐聿茜陳俊宇
整合式多期規劃供應鏈模式/ 藍俊雄邱誌偉胡鴻慶
在MgO緩衝層以射頻濺鍍法製備La3Ga5SiO14薄膜與特性之研究/ 胡毅王逢偉林和龍
射出模模座設計管理的原型系統建構/ 劉大銘蕭立奇徐聿茜陳俊宇
Optimal Load Tracking Design for a Catalytic-Partial-Oxidation-Based Fuel Processing System/ Huan-Liang Tsai
中文文件影像中之特殊字體偵測/ 曾逸鴻林裕淵
超音波定位系統之設計策略/ 盧樹台
「陳有蘭溪十八重溪匯流處下游」疏濬工程粒狀污染物排放係數推估/ 李清華施俊安方信雄林明德林隆儒秦丘翰
類神經網路於MIMO半導體製程控制的應用/ 呂明山張仁達
在MgO緩衝層以射頻濺鍍法製備La3Ga5SiO14薄膜與特性之研究/ 胡毅王逢偉林和龍
以HAVi多媒體網路整合於OSGi家用閘道器之設計與實作/ 彭興國張晉源薛念林
整合式多期規劃供應鏈模式/ 藍俊雄邱誌偉胡鴻慶
發光二極體接面溫度的自動量測系統/ 廖豐標杜振德林睿蜻林雲翔劉秉承黃文祥
 
   
 
   

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