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題名:多孔矽製程之微結構及特性分析之研究    
Microstructure Analysis and Photoelectronic Properties of Porous Silicon
著者:林嘉?(Jia-Chuan Lin) ;黃國閔(Kuo-Min Huang)
出版地區:台灣
出版城市:台北市
學科:自科綜合 ; 應科綜合
關鍵字:電化學蝕刻 ; 多孔矽 ; 光激發光 ; Electrochemical etching ; Porous silicon ; Photoluminescence (PL)
刊名:華岡工程學報
卷期:21期(2007.6)
頁碼:137-143
語言:繁體中文
摘要: 中文摘要PDF ; 英文摘要PDF

本論文以半導體材料單晶矽( c ry s t a l l i n e silicon) 為基材, 經由電化學蝕刻的方式,矽經蝕刻後表面會產生極微小孔狀結構,稱之為多孔矽( Porous silicon) 0 並且探討多孔矽的光電特性、微結構上的分析及其應用。實驗中,以自製的蝕刻設備,將鐵氣龍、O-r i ng(防溢墊圈)及黃金電極組合成為防酸設備。單晶矽在經電化學蝕刻後,成種微小孔洞,經i遁的燈的照射下,多孔矽會有光激發光的現象,並且將試片的退火( Annea l ing) ,觀察在高溫下的多孔矽結構的變化O再透過場發(FESE間) 、I-V 電性量測及光激發光譜儀(PL) 進行分析。本青驗使用N 型((1 0 0 ) 的單晶矽' 立在且改變各種參數來探討其微結構、電性及發光特性o
In this study, porous silicon films are fabricated by electrochemical etching on crystalline silicon substrates. The microstructures of porous silicon films are analyzed. Also, the unique photoelectronic properties and their applications are researched. Using electrochemical etching equipment with O-rings, electrodes, teflon tubes and plates, crystalline silicon can be etched to form a porous film. Under an ultraviolet light illumination, the porous silicon samples have strong photoluminescence (PL) properties. When the porous silicon film was annealed in the temperature range of 700-840 DC, some structure variations are observed. In our experiment, the micorstructure of porous silicon films are analyzed by Field Emission Scanning Electron Microscope (FESEM), photoluminescence spectrometer (PL) and semiconductor devices parameter measurement system.


    

本卷期目次
華岡工程學報 21期 (2007.6)
工程教育之通識思維/ 陳義揚
塑膠顏料兩階段聚合-反應機構及形態之探討/ 吳銘洪古竣安李璜桂
A Simulation Study of the Microwave Diplexer on the Superconductivity Thin Film/ Chien-Ming Lei
Gaussian-Polynomial Temperature Model for the Discharge Behavior of a Lithium-Ion Battery/ Che-Chi WengLin-Sen Pon
冰水系統最佳化設計/ 王子奇
一種用於由Antoniou電路模擬電感實現二階濾波器的有效方法/ 劉熙海邱鼎文施志誼陳俊叡
多孔矽製程之微結構及特性分析之研究/ 林嘉?黃國閔
全橋式零電壓切換技術之感應加熱器/ 王榮爵張宏榮
Tracking Control for Linear Non-minimum-phase Systems Based on a Blocking-zero Hold Function/ Ming-Lei Tseng
Co-Cr-Fe-Ni-Ti高熵合金之特性研究/ 陳岳鋒曹春暉
碳-高分子複合材料作為電阻式化學氣體感測器材料之研究/ 何筱琳
以逆向熱傳法推算燃料電池內部溫度精確度之影響因素研究/ 張鴻明張立中
Tencel纖維經氙弧光照射處理後其表面性質影響之研究/ 鄭敏翊潘毅鈞邢文灝
Wind Turbine Blade Technology/ Ho-Ling Fu
奈米銀/形狀記憶聚氨基甲酸酯功能性複合材料製備及其形狀記憶性影響之研究/ 王學樑王權泉楊長亮沈廉超
以超寬頻元件用於動作追蹤的方法論探討/ 劉宗慶
蒸氣腔體熱傳性能之研究/ 江沅晉
Target Detection in the EO-1 Hyperspectral Image Using Noise Effect Removal Algorithm/ Tzu-Lung SunChang-Lung Tsai
Automatic Detection of A License Plate by Using Wavelet Transform/ Lin-Sen PonYu-Shou ChengBo-Quan Cheng
Connectivity Strategies for Second-order Neural Networks Applied to Rotation Invariant Compact Disk Recognition/ Tai-Ning YangChih-Jen LeeChun-Jung ChenShi-Jim Yen
VoIP技術與應用之研究/ 劉仲鑫
 
   
 
   

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