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題名:改變直流功率頻率和底材偏壓之類鑽碳膜磨潤特性之研究     (38點)
The Tribological Performance of Diamond Like Carbon with Various Direct Current Power Frequencies and Bias Voltage
著者:高文顯(Wen-Hsien Kao) ;陳明山(Ming-Shan Chan) ;汪逸涵(Yi-Han Wang)
出版地區:台灣
出版城市:彰化縣
學科:自科綜合 ; 應科綜合
關鍵字:類鑽碳 ; DC頻率 ; 底材偏壓
刊名:建國科大理工期刊
卷期:32卷2期(2013.4)
頁碼:63-81
語言:繁體中文
摘要: 中文摘要PDF ; 英文摘要PDF

本研究利用非平衡磁控濺鍍系統,濺鍍類鑽碳膜。研究改變底材直流功率頻率和底材偏壓對類鑽碳膜的磨潤性質的影響。實驗中鍍層被覆共分為二階段:第一階段,主要為探討改變直流功率頻率,而第二階段為改變底材的偏壓對鍍層基本結構,機械性質與附著性的影響,並使用往復式磨耗試驗機在乾磨情形下,探討不同對磨材下鍍層磨潤性質。研究結果顯示:在點接觸模式下,對磨材為AISI 52100與Al2O3時,附著力較佳之110 kHz鍍層抗磨耗特性較佳。而鍍膜被覆時的偏壓以42V偏壓值為最佳,擁有較低摩擦係數與較高的抗磨耗性,可得到最佳鍍膜磨潤性能。
The diamond like carbon (DLC) coatings are deposited on substrates using a closed field unbalanced magnetron sputtering system with various pulsed-DC power frequencies and bias voltage of substrate respectively in the first and second stage. The tribological properties of the coatings are tested against different counterbodies under dry conditions using an oscillating friction and wear tester. The experimental results reveal that the coating with 110 kHz and 42V bias voltage sliding against AISI 52100 or Al2O3 ball, demonstrate particularly good tribological properties, namely a low wear depth, a low friction coefficient and a long lifetime.


    

本卷期目次
建國科大理工期刊 32卷2期 (2013.4)
跆拳足技動作輔助器之研發及應用---以後踢動作為例/ 黃顧文林允日
新穎多孔性木料綠建材之熱性質測定與數值模擬熱流分析/ 鄭澤明曾憲中浦凌波周序潔
旋轉機械增強散熱之設計與熱流特性試驗研究/ 曾憲中鄭澤明徐睿
精密低壓射蠟模具快速製造技術之開發/ 郭啟全蘇聖傑
FE-SEA混合法在複雜耦合結構振動與噪聲預測中的應用與研究/ 徐文龍龔國慶陳勇方亮彬
改變直流功率頻率和底材偏壓之類鑽碳膜磨潤特性之研究/ 高文顯陳明山汪逸涵
繞射光學元件精密快速模具研製/ 郭啟全許修繻
 
   
 
   

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