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題名:鑽石薄膜應變與應力之研究     (62點)
The Study of Diamond Film on Strain and Residual Stress
著者:黃廷合(Ting-Ho Huang)
出版地區:台灣
出版城市:台北市
學科:人文綜合 ; 社科綜合 ; 自科綜合 ; 應科綜合
刊名:中華工商專校學報
卷期:13期(1996.11)
頁碼:7-37
語言:繁體中文
摘要: 中文摘要PDF ; 英文摘要PDF

本研究係利用熱燈絲電漿CVD法(HFPCVD)及微波電漿CVD法(MWPCVD)在WC+Co基材上成長一薄層鑽石膜(diamond film),而鑽石膜之機械性質往往與薄膜內部殘留應力有關,殘留應力在薄膜元件之研究,普遍採用X-繞射儀進行分析探討,國內礙於儀器功能及分析軟體欠缺,實有美中不足之處;於本研究過程中嘗試以國內現有之X光繞射儀將鑽石膜應力與應變分析結果說明如下: 1.X-光繞射儀分析時,可利用所得在鑽石(111)面之晶面距離來與無應變狀態之鑽石膜比較,來計算之,可獲得巨觀方式鑽石膜內部總殘留應力及鑽石膜平面方向之殘留應力。實驗中嘗試利用X-光繞射峰寬化之原理,參用半高寬值(FWHM),X光波長及繞射角等參數,但因受平均晶粒大小及晶粒方向性影響很大,而未將結果採用之。 2.實驗結果,鑽石膜隨著CH4%之提高,其內部應力與應變,有下降趨勢。 3. WC+Co基材上,Co量改變時,以12.5% Co與5.5% Co基材之鑽石膜來比較,前者的內部殘留應力為小,這與基材之軟、硬度及熱膨脹係數有關。
A study of diamond film deposited by hot filament assisted CVD system system (HF CVD) and microwave plasma CVD system (MP CVD) on various cutting tool materials (ie. cemented WC). Effects of residual stress for diamond films adhesive properties. To research residual stress for diamond films were measured by the X-ray diffraction technique. In this investigation, preliminiary results as followa: 1. By X-ray diffraction technique to analysis residual stress of the diamond films. In comparison with diamond films both crystal plane (111) distance and no strain crystal plan the film, and know macro-scopic residual stress produce on the diamond film, and try measured peak widths have no contribution from average particle size and grain texture effects. 2. The results show that a higher CH4% concentration can be obtained for the diamond film under decrease residual stress and strain. 3. For the cemented carbides substrates, in comparison of the CO contents by two pieces of 12.5% Co and 5.5% Co substrate deposited diamond films, the results show 12.5% Co substrate have a lower residual stress. In this case, the relation between substrate soft or hard and thermal expansivity.


    

本卷期目次
中華工商專校學報 13期 (1996.11)
建築製圖正投影原理立體關係分析及剖面視圖繪製方法新途徑/ 雷祖康
An Apparatus of Resonant Fatigue Testing/ Dong-Cherng Wen
以微處理機?基礎發電機即時模擬器之研製/ 張偉能
IMPROVED SEMI-ACTIVE CONTROL OF ATE ISOLATOR IN GROUND VEHICLES/ Der-Shyang Ker
正方形及L形鋼筋混凝土細長柱受雙向載重時之行?/ 曹文琥許正次
Fabrication of Surface Emitting Laser Diodes/ S-J YihJ-J Lin
模糊控制器在恆溫槽之應用/ 林家傑許地申周瑞雄
中華工商專科學校人事業務運用QCC技巧之成果分析/ 施儀良
都市管理主義涵構之批判與詮釋/ 王敏順
跑步訓練對國小五年級學童生理機能之影響/ 林順萍
企業上市與上櫃決策之研究/ 葉清江
Why Huck Said "I can't stand it"?/ Shu-Chen Lee
中國文化?貌(下編)/ 劉連城
Voltage profile correction of a load bus by static reactive power compensators with quantization controllers/ Ching-Jang Wu
以二維DCT?基礎來偵測三維角/ 嚴茂旭
GEOMAGNETIC DISSIPATION OF ACOUSTIC WAVE IN THE IONOSPHERE/ Shin-Cherng Wong
鑽石薄膜應變與應力之研究/ 黃廷合
DTM結合SPOT影像於模擬南部第二高速公路鳥瞰圖之應用/ 邵怡誠
高層建築結構複合化工法個案研究/ 陳淑如
 
   
 
   

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